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Conference
평판 전극 감지축을 이용하는 2축 MEMS 자이로스코프의 설계
제 13회 한국 MEMS 학술대회, 2011-04-07
임근배
;
석세영
;
성중우
;
이상우
Conference
피드백 제어를 이용해 구동 변위를 일정하게 유지하는 진동형 MEMS 자이로의 자체 발진 회로
제 14회 한국 MEMS 학술대회, 2012-04-06
임근배
;
석세영
;
성중우
;
김청월
;
이상우
Conference
향상된 리가 공정을 위한 X-선 나노/마이크로머시닝 빔라인 성능 개선
제 16회 한국 MEMS 학술대회, 2014-04-03
임근배
;
김종현
;
장석상
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