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Article
High-density transition layer in oxynitride interfaces on Si(100)
SCIE
SCOPUS
APPLIED PHYSICS LETTERS, vol. 75, no. 24, page. 3775 - 3777, 1999-12-13
Wang, J
;
Lee, DR
;
Park, C
;
Jeong, YH
;
Lee, KB
;
et al
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