웨이퍼 급속 열처리 공정의 선형화 모델 및 온도 추정 알고리즘
- Title
- 웨이퍼 급속 열처리 공정의 선형화 모델 및 온도 추정 알고리즘
- Authors
- PARK, MINJOO; KIM, JUNG HOON
- Date Issued
- 2022-10-21
- Publisher
- 대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineering), 대한전자공학회(The Institute of Electronics and Information Engineers)
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/114070
- Article Type
- Conference
- Citation
- CICS 22 정보 및 제어 학술대회, 2022-10-21
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