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산화물반도체/금속 계면에 원자 층 수준의 절연 막 삽입을 통한 접촉 저항 감소 및 열 안정성 향상
- Title
- 산화물반도체/금속 계면에 원자 층 수준의 절연 막 삽입을 통한 접촉 저항 감소 및 열 안정성 향상
- Date Issued
- 2022-12-07
- Publisher
- 반도체공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 반도체 공학회 종합 학술대회, 2022-12-07
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- 정윤영CHUNG, YOONYOUNG
- Dept of Electrical Enginrg