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SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 애칭에 관한 연구
- Title
- SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 애칭에 관한 연구
- Authors
- 김태영
- Date Issued
- 1992
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001897412
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/2642
- Article Type
- Thesis
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