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Ti중간층이 플라즈마 화학증착법에 의한 TiN 박막의 밀착력에 미치는 영향
- Title
- Ti중간층이 플라즈마 화학증착법에 의한 TiN 박막의 밀착력에 미치는 영향
- Authors
- 우치구
- Date Issued
- 1992
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001897422
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/2652
- Article Type
- Thesis
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