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TFT-LCD 신호 배선용 Al박막의 hillock 형성과 미세조직에 미치는 Mo 하층부 두께의 영향
- Title
- TFT-LCD 신호 배선용 Al박막의 hillock 형성과 미세조직에 미치는 Mo 하층부 두께의 영향
- Date Issued
- 2006-11
- Publisher
- 대한금속재료학회
- ISSN
- 0253-3847
- Article Type
- Article
- Citation
- 대한금속·재료학회지, vol. 44, no. 11, page. 776 - 781, 2006-11
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Related Researcher
- 박찬경PARK, CHAN GYUNG
- Dept of Materials Science & Enginrg