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이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 SI (001) 기판의 표면구조 변화
- Title
- 이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 SI (001) 기판의 표면구조 변화
- Date Issued
- 2005-01
- Publisher
- 대한금속재료학회
- ISSN
- 0253-3847
- Article Type
- Article
- Citation
- 대한금속·재료학회지, vol. 43, no. 1, page. 68 - 73, 2005-01
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Related Researcher
- 박찬경PARK, CHAN GYUNG
- Dept of Materials Science & Enginrg