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전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공
- Title
- 전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공
- Date Issued
- 2017-01
- Publisher
- 대한기계학회
- ISSN
- 1226-7287
- Article Type
- Article
- Citation
- 기계저널, vol. 57, no. 1, page. 32 - 36, 2017-01
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Related Researcher
- 노준석RHO, JUNSUK
- Dept of Mechanical Enginrg