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DRAM용 RuO2와 Pt 하부 전극의 계면 안정성에 대한 연구
- Title
- DRAM용 RuO2와 Pt 하부 전극의 계면 안정성에 대한 연구
- Authors
- 김유성
- Date Issued
- 1996
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001898707
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/3936
- Article Type
- Thesis
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