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비활성 기체 플라즈마가 MgO 보호막의 퇴화에 미치는 영향
- Title
- 비활성 기체 플라즈마가 MgO 보호막의 퇴화에 미치는 영향
- Authors
- 이종람
- Date Issued
- 2007-02-07
- Publisher
- 한국 반도체 학술대회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제 14회 반도체 학술대회, 2007-02-07
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Related Researcher
- 이종람LEE, JONG LAM
- Dept of Materials Science & Enginrg