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대변위 초정밀 위치제어 요소 기술 향상을 통한 시스템 개발 및 나노 탐침 시스템에의 응용
- Title
- 대변위 초정밀 위치제어 요소 기술 향상을 통한 시스템 개발 및 나노 탐침 시스템에의 응용
- Date Issued
- 2010-05-06
- Publisher
- 대한기계학회 2010년도 마이크로/나노공학 부문 춘계학술대회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한기계학회 2010년도 마이크로/나노공학 부문 춘계학술대회, 2010-05-06
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Related Researcher
- 문원규MOON, WON KYU
- Dept of Mechanical Enginrg