대변위 초정밀 위치제어 요소 기술 향상을 통한 시스템 개발 및 나노 탐침 시스템에의 응용
- Title
- 대변위 초정밀 위치제어 요소 기술 향상을 통한 시스템 개발 및 나노 탐침 시스템에의 응용
- Authors
- 문원규; 강대실; 김성주
- Date Issued
- 2010-05-06
- Publisher
- 대한기계학회 2010년도 마이크로/나노공학 부문 춘계학술대회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/47262
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한기계학회 2010년도 마이크로/나노공학 부문 춘계학술대회, 2010-05-06
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.