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RF 자기 쉬스와 헬리컬 공진기형 플라즈마 발생 장치의 모델링 및 측정 분석
- Title
- RF 자기 쉬스와 헬리컬 공진기형 플라즈마 발생 장치의 모델링 및 측정 분석
- Authors
- 박종철
- Date Issued
- 1999
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001899735
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/4962
- Article Type
- Thesis
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