자체 검사를 이용한 포토마스크 결점 추출
- Title
- 자체 검사를 이용한 포토마스크 결점 추출
- Authors
- 정홍; 최지희
- Date Issued
- 2008-06-20
- Publisher
- 대한전자공학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/53608
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2008년도 하계종합학술대회, page. 933 - 934, 2008-06-20
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