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양극 산화 알루미늄을 이용한 capacitive 습도 센서의 설계 및 성능 평가
- Title
- 양극 산화 알루미늄을 이용한 capacitive 습도 센서의 설계 및 성능 평가
- Date Issued
- 2008-04-04
- Publisher
- 한국 MEMS 학술대회 운영위원회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제10 한국 MEMS 학술대회, page. 215 - 216, 2008-04-04
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- 엔지니어링 대학원