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375nm 반도체 UV 레이저를 이용한 미세 입자분사가공 SU-8 마스크의 제작
- Title
- 375nm 반도체 UV 레이저를 이용한 미세 입자분사가공 SU-8 마스크의 제작
- Authors
- 조동우
- Date Issued
- 2007-06-21
- Publisher
- 한국정밀공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회, page. 663 - 664, 2007-06-21
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Related Researcher
- 조동우CHO, DONG WOO
- Dept of Mechanical Enginrg