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X-선 반사율의 Fourier해석을 이용한 Ta2O5박막과 Si기판 사이 계면층의 구조분석
- Title
- X-선 반사율의 Fourier해석을 이용한 Ta2O5박막과 Si기판 사이 계면층의 구조분석
- Authors
- 지성대
- Date Issued
- 2001
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001905583
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/5811
- Article Type
- Thesis
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