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저온 게이트 산화막의 플라즈마 화학증착과 계면 특성 개선에 대한 연구
- Title
- 저온 게이트 산화막의 플라즈마 화학증착과 계면 특성 개선에 대한 연구
- Authors
- 김효욱
- Date Issued
- 2001
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001905801
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/6029
- Article Type
- Thesis
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