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주파수 매칭을 통한 고감도 2 축 MEMS 자이로센서의 설계 및 제작

Title
주파수 매칭을 통한 고감도 2 축 MEMS 자이로센서의 설계 및 제작
Authors
임근배김진영안태창김민규신정활
Date Issued
2008-04-03
Publisher
한국 MEMS 학술대회 운영위원회
URI
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/60362
Article Type
Conference
Citation
제 10회 한국 MEMS 학술대회, 2008-04-03
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