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3차원 원자탐침 전자현미경을 이용한 Si 기판에 패터닝 된 Fin 구조 내 도핑 원소분석
- Title
- 3차원 원자탐침 전자현미경을 이용한 Si 기판에 패터닝 된 Fin 구조 내 도핑 원소분석
- Date Issued
- 2012-02-15
- Publisher
- 고려대학교
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제19회 한국반도체학술대회, 2012-02-15
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Related Researcher
- 박찬경PARK, CHAN GYUNG
- Dept of Materials Science & Enginrg