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진동형 MEMS 자이로의 감도 향상을 위한 전극 후공정 고정기법
- Title
- 진동형 MEMS 자이로의 감도 향상을 위한 전극 후공정 고정기법
- Date Issued
- 2012-07-12
- Publisher
- 국방과학연구소, 한국군사과학기술학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제3회 감시정찰정보학술대회, 2012-07-12
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