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X-선 리소그래피 공정을 이용한 고종횡비 마이크로필라 어레이의 제작
- Title
- X-선 리소그래피 공정을 이용한 고종횡비 마이크로필라 어레이의 제작
- Date Issued
- 2012-06-26
- Publisher
- 대한기계학회 생산 및 설계공학부문
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한기계학회 생산 및 설계부문 춘계학술대회, 2012-06-26
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- 임근배LIM, GEUN BAE
- Dept of Mechanical Enginrg