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접촉식 면적변화형 정전용량 변위센서를 사용한 위치 결정 시스템
- Title
- 접촉식 면적변화형 정전용량 변위센서를 사용한 위치 결정 시스템
- Date Issued
- 2012-05-17
- Publisher
- 대한기계학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2012년도 춘계학술대회, 2012-05-17
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- 문원규MOON, WON KYU
- Dept of Mechanical Enginrg