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저주파 음파 측정을 위한 FET 와 정전하층을 이용한 초소형 음향 감응 구조 개발
- Title
- 저주파 음파 측정을 위한 FET 와 정전하층을 이용한 초소형 음향 감응 구조 개발
- Date Issued
- 2015-04-03
- Publisher
- 마이크로나노시스템학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제17회 한국 MEMS 학술대회, 2015-04-03
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Related Researcher
- 문원규MOON, WON KYU
- Dept of Mechanical Enginrg