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액체직접주입방식의 MOCVD 공정에 의한 Bi4-xNdxTi3O12 박막의 증착 및 평가
- Title
- 액체직접주입방식의 MOCVD 공정에 의한 Bi4-xNdxTi3O12 박막의 증착 및 평가
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2006-02-23
- Publisher
- 한국 반도체 학술대회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제13회 한국 반도체 학술대회, page. 689, 2006-02-23
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