새로운 단일 전구체를 이용한 Zr silicate의 원자층 화학증착법
- Title
- 새로운 단일 전구체를 이용한 Zr silicate의 원자층 화학증착법
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2002-11-01
- Publisher
- 한국재료학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/75361
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2002년도 한국재료학회, page. 96, 2002-11-01
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