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VTMS 전구체를 이용한 직접 플라즈마 CVD 저유전체 박막의 제조 및 평가
- Title
- VTMS 전구체를 이용한 직접 플라즈마 CVD 저유전체 박막의 제조 및 평가
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2002-10-24
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 화학공학의 이론과 응용, page. 4834 - 4837, 2002-10-24
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