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DLI-MOCVD를 이용한 BLT 박막의 증착과 전구체 평가
- Title
- DLI-MOCVD를 이용한 BLT 박막의 증착과 전구체 평가
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2001-12-17
- Publisher
- 한국재료학회 반도체 분회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제 3 회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, page. 39 - 40, 2001-12-17
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