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3차원 전하 축적 효과와 나노소자 식각을 위한 중성빔 소스 특성에 대한 전산 연구
- Title
- 3차원 전하 축적 효과와 나노소자 식각을 위한 중성빔 소스 특성에 대한 전산 연구
- Authors
- 김성진
- Date Issued
- 2006
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001907506
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/7724
- Article Type
- Thesis
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