저온 산화막 증착 공정에 대한 희석기체의 영향
- Title
- 저온 산화막 증착 공정에 대한 희석기체의 영향
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2000-01-26
- Publisher
- 한국 반도체 학술대회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/77562
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국 반도체 학술 대회, page. 665, 2000-01-26
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