p-형 GaN에서의 Cl2와 BCl3를 이용한 유도결합 플라스마를 이용한 건식식각
- Title
- p-형 GaN에서의 Cl2와 BCl3를 이용한 유도결합 플라스마를 이용한 건식식각
- Authors
- 이종람
- Date Issued
- 2000-01-01
- Publisher
- 대한 금속 재료 학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/77603
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한 금속재료학회 2000년도 추계발표대회, page. 119, 2000-01-01
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