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Rf 마그네트론 스퍼터법으로 Si기판위에 증착된 SrRuO3박막의 미세구조에 관한 연구
- Title
- Rf 마그네트론 스퍼터법으로 Si기판위에 증착된 SrRuO3박막의 미세구조에 관한 연구
- Authors
- 박찬경
- Date Issued
- 1998-11-01
- Publisher
- 연세대학교
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국전자현미경학회 추계학술대회, 1998-11-01
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Related Researcher
- 박찬경PARK, CHAN GYUNG
- Dept of Materials Science & Enginrg