PECVD 증착 변수와 in-situ IR cell을 이용한 온도별 a-Si:H의 특성 변화
- Title
- PECVD 증착 변수와 in-situ IR cell을 이용한 온도별 a-Si:H의 특성 변화
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 1997-01-01
- Publisher
- 한국진공학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/80632
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제12회 한국진공학회 학술발표회, page. 66, 1997-01-01
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