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DLI-MOCVD 공정을 이용한 SBT 박막 및 증착 및 전구체 특성평가
- Title
- DLI-MOCVD 공정을 이용한 SBT 박막 및 증착 및 전구체 특성평가
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2001-04-27
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 화학공학의 이론과 응용, page. 2170, 2001-04-27
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