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CMP 공정을 이용한 Polymer Memory 소자 제작 및 특성에 관한 연구
- Title
- CMP 공정을 이용한 Polymer Memory 소자 제작 및 특성에 관한 연구
- Authors
- 이정무
- Date Issued
- 2007
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001907965
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/8182
- Article Type
- Thesis
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