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질화물 박막의 플라즈마 원자층 증착 및 나노 디바이스에의 응용
- Title
- 질화물 박막의 플라즈마 원자층 증착 및 나노 디바이스에의 응용
- Authors
- 김형준
- Publisher
- 한국세라믹 학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2004 한국세라믹 학회 추계대회
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Related Researcher
- 김형준KIM, HYUNGJUN
- Dept of Materials Science & Enginrg