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플라즈마 이온주입에서 그리드 전극 구조에 따른 이온 쉬스 전개
- Title
- 플라즈마 이온주입에서 그리드 전극 구조에 따른 이온 쉬스 전개
- Authors
- 이유진
- Date Issued
- 2007
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001908170
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/8387
- Article Type
- Thesis
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