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유한요소법을 이용한 실리콘 단결정 성장용 전자장 발생장치 최적요건 연구
- Title
- 유한요소법을 이용한 실리콘 단결정 성장용 전자장 발생장치 최적요건 연구
- Authors
- 구양모
- Publisher
- 대한 금속 재료 학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2005년도 대한금속재료학회 추계 학술대회
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- 구양모KOO, YANG MO
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