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HfO2 기반 고유전율 게이트 산화물 박막의 원자층 증착법과 계면 특성 향상에 대한 연구
- Title
- HfO2 기반 고유전율 게이트 산화물 박막의 원자층 증착법과 계면 특성 향상에 대한 연구
- Authors
- 맹완주
- Date Issued
- 2009
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001909766
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/9009
- Article Type
- Thesis
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