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마이크로구조물을 갖는 채널 내의 미세 액체금속 액적을 이용한 신개념 MEMS 관성센서 개발
- Title
- 마이크로구조물을 갖는 채널 내의 미세 액체금속 액적을 이용한 신개념 MEMS 관성센서 개발
- Authors
- 유광현
- Date Issued
- 2009
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001909798
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/9041
- Article Type
- Thesis
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