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원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구
- Title
- 원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구
- Authors
- 이시우
- Publisher
- 한국재료학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2008년도 한국 재료학회 춘계학술발표대회 및 제 14회 신소재 심포지엄, page. 24
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