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원자층 기상증착공정(Atomic Vapor Deposition)을 이용한 TaCN 박막의 특성 평가
- Title
- 원자층 기상증착공정(Atomic Vapor Deposition)을 이용한 TaCN 박막의 특성 평가
- Authors
- 이시우
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2008년도 봄 총회 및 학술대회, page. 335
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