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원자층 증착법을 이용한 Tantalum carbonitride 박막의 증착 및 특성평가
- Title
- 원자층 증착법을 이용한 Tantalum carbonitride 박막의 증착 및 특성평가
- Authors
- 이시우
- Publisher
- 한국재료학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2007년도 한국 재료 학회 추계 학술 발표대회
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