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Dichlorobis[bis(trimethylamido)]hafnium과 물을 이용한 Hafnium Silicate의 단원자층 화학증착
- Title
- Dichlorobis[bis(trimethylamido)]hafnium과 물을 이용한 Hafnium Silicate의 단원자층 화학증착
- Authors
- 이시우
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
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