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Parylene-H 박막을 절연막으로 이용한 실리콘 바이오센서의 DC 특성 및 신뢰성 분석
- Title
- Parylene-H 박막을 절연막으로 이용한 실리콘 바이오센서의 DC 특성 및 신뢰성 분석
- Date Issued
- 2018-12-21
- Publisher
- 반도체공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제1회 반도체공학회 학술대회, 2018-12-21
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- 이정수LEE, JEONG SOO
- Dept of Electrical Enginrg