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음의 코로나 방전에 의해 차징 되어 높고 균일한 표면 전위 및 향상된 시간 안정성을 갖는 SiO2/Si3N4 일렉트릿
- Title
- 음의 코로나 방전에 의해 차징 되어 높고 균일한 표면 전위 및 향상된 시간 안정성을 갖는 SiO2/Si3N4 일렉트릿
- Authors
- MOON, WON KYU; 서동환
- Date Issued
- 2018-04-07
- Publisher
- 마이크로나노시스템학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제20회 한국 MEMS 학술대회, 2018-04-07
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