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반도체 공정에서의 수율 기반 최적 설비 경로 도출 방법 개발
- Title
- 반도체 공정에서의 수율 기반 최적 설비 경로 도출 방법 개발
- Authors
- 박규남; SONG, MINSEOK; 조민수; 이진영
- Date Issued
- 2018-04-05
- Publisher
- 대한산업공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한산업공학회 춘계 학술대회, 2018-04-05
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Related Researcher
- 송민석SONG, MINSEOK
- Dept. of Industrial & Management Eng.