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OASIS Repository@POSTECHLIBRARY
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Conference
Removal of 10nm contaminant particles from a wafer surface with supersonic CO2 particle beam
Nanotech 2011, 2011-06-15
이진원
;
김인호
;
김의재
Conference
초음속 CO2 나노입자빔을 이용한 10nm 표면오염입자 제거 실험
마이크로나노공학회 춘계학술대회, 2011-05-26
이진원
;
김인호
;
김의재
;
최민석
Conference
초음속 CO2 유동장 생성을 통한 10nm 오염입자 제거 실험
대한기계학회 추계학술대회, 2011-11-03
이진원
;
김인호
;
김의재
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