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웨이퍼 내 칩 간 공간적 유사성과 검사항목 간 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

Title
웨이퍼 내 칩 간 공간적 유사성과 검사항목 간 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발
Authors
KIM, JU YEONGBAE, YOUNG MOKCHOI, SEUNG HYUNKIM, KWANG JAE
Date Issued
2022-11-04
Publisher
대한산업공학회
URI
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/115294
Article Type
Conference
Citation
2022 대한산업공학회 추계학술대회, 2022-11-04
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Researcher

김광재KIM, KWANG JAE
Dept. of Industrial & Management Eng.
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